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· 10um 激活深度
· WPH 高达 30
· 优异的方阻均匀性和表面颜色
· 完整的全程监控反馈能力
· 支持超薄片、TAIKO 片、翘曲片退火
· 具备激光辅助加热系统
标准晶圆、Flat 晶圆、Notch 晶圆、Taiko 晶圆
| 项目 | LA2540S | LA2550S | LA2540D | LA2550D |
| 晶圆尺寸 | 4/6、6/8、8/12 inch 兼容 | |||
| 激光功率 | 60W+150W | 90W+150W | 120W+300W | 180W+300W |
| 8 寸片典型扫描时间 | 110 sec/p | 90 sec/p | 60 sec/p | 45 sec/p |
| 激光能量密度 | ≥ 5J/cm² | ≥ 5J/cm² | ||
| 激光输出稳定性 | ≤ 2%，RMS，4hrs | |||
| 激活率 | ≥ 95% @B Implant，≥ 90% @P Implant | |||
| 均匀性 | 片内：≤ 1%，片间：≤ 1%，@8 寸，RS | |||
| 粉尘控制 | ≤ 30 @ 0.5um，≤ 5 @ 1um | |||
| 自动传片系统 | 双 LoadPort、多关节机器手、预准直器 | |||
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